友聲電子高壓電源及放大器測試概述
友聲公司為 RFSTM 計劃中, 控制器系統中高壓電源及放大器的合作發展廠商, 同時也申請了高雄市政府 SBIR 計劃, 取得研發經費, 開發了 STM 系統所需要的超低雜訊的電源供應器及高壓放大器. 先前在用單純的信號源 (直流或零電壓輸入), 已經做了基本的雜音測試. 而在今年 7~8月做了最嚴格的機上測試. 也就是直接將電源及放大器加入廠製的控制器系統內, 做實際成像測試. 我們測試的樣品是金泊. 會看到一層層的原子級的階梯結構. 將其與廠製機 (Omicron) 做一比較:
一開始我們就碰到高壓放大器 GAIN 不對的問題, 原廠在 X, Y 軸的 GAIN 是 12, Z 軸為10.5,而友聲做的GAIN都是 13, 這會造成操作及反饋的問題, 最後我加信號輸入端加了一個衰減器解決了這個問題.
下圖為現場之佈置, 由掃描控制器低壓輸出端, 經過上頁的衰減器, 輸入友聲公司的放大器, 而其用的電源亦為友聲公司自行開發之低雜音電源供應器, 放大器輸出至 Z 軸 PZT, 操作控制器在正常掃描程序,
就得到圖像了,
初步結果如下圖所示, 已經可以明顯的看出表面形貌
在半定量的分析上, 放大器的能力除了低雜音, 再現性也是一個重要的指標, 定點量測在不同的Tip Bias 設定之下, Tip 在定高位置, 則其電流會隨偏壓而變化, 對單一定點, 這個變化曲線應為不變的, 且在低 bias 的情況下有一不感應器, 其應徧壓太低, 無法生成穿隧電流的部份, 這一部份測試在友聲公司的放大器都有顯示出來並有重復性.
這次測試很重要的也是比較台製設備是否能與原廠有對應的能力, 調出過去同樣品廠製設備所得出之圖像與友聲的圖像做定性之比較:
右下角之圖片即為廠製品所得之影像, 與友聲之製品並無顯著的差異. 表示其產品已有近國外大廠之水準, 其他區域的圖片亦有相對應之水準, 下圖為斑點區
總結來說: 友聲公司經過這段時間的努力, 的確讓公司的產品有與國外大廠相對應的水準, 這在我國的產業昇級上也是一個成果
黎煥欣
2015-11-05
留言列表
留言列表
