2017-04-01 Paschen 低壓放電效應 黎煥欣
下圖是 Paschen chart, 各種氣體在不同的壓力及間隔下放電的曲線 (取自
('Gas Tube Design', by H H Wittenberg)
橫軸為氣壓 x 電極距離, 可以簡單的設定為電極距離 1cm = 10mm ,
橫軸就是氣壓值 mmHg, 或我們常稱的 Torr, 範圍從 0.1 torr 到~ 1K (760 torr = 一大氣壓)
緃軸就是在對應條件下會放電的的最小電壓, 若是距離為 1mm,
則放電電壓縮小 1/10 以此估量就是了.
我以們可以很明顯的看到, 以昔通大氣 (Air) 為例, 在一大氣壓下, 要30~40KV 才會放電,
但在 1~10 torr 的時候, 幾乎所有的氣體放電的能力會大幅提高
另一張類似的圖: (from wiki Paschen's law)
對電壓的標稱範圍更大, 可以看到在< 1torr, 所有氣類體的放電電壓都大幅增加,
甚至比大氣壓下還高, 所以在測試高壓系統是否為會無預期的放電時, 在大氣壓下測試
是一個合理的高真空類比, 但在 ~ 1 torr 下的低真空, 一點高壓就會放電, 所以在操作時,
若不需望有不預期的放電現像發生, 則千萬不要在 1~10 torr 下的區域, 或抽真空中途壓力
在通過這個區域時, 開啟任何高壓的操作
黎煥欣 2017-04-01
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